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硅片可分为单晶硅片和多晶硅片。(单晶硅和多晶硅的区别是,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅,提一嘴:多晶硅可作为生产单晶硅的原料哦~)
多晶硅片:
其由石英砂加工的冶金级硅精炼而来,先被铸成硅锭,然后切割成片,从而加工成多晶硅硅片。
单晶硅片:
拉晶,用单晶硅生长炉采用直拉法生产单晶棒
滚磨,采用外圆磨床滚磨外径获得比较精确的硅片直径;
切片,使用切割机将晶棒切割成一定厚度的薄晶片;
倒角,采用倒角机增加硅片边缘机械强度,减少颗粒沾污;
研磨,使用双面研磨机,去除硅片表面损伤层并且达到微米级别的平整度
抛光,使用抛光机将硅片表面达到纳米级别的平整度;
最终检测,使用检测设备来检测成品的尺寸和电学性能等是否达到预期。
出厂
—选自中科院物理所